规格（mm)

测量面对基面垂直度
（um）

测量面平面度或直线度
（um）

基面平面度或直线度
（um）

精度等级

00

0

00

0

00

0

100×63

2

4

1

1

1

1

160×100

2

4

1

2

1

1

250×160

2.5

5

1

2

1

2

400×250

3.5

7

1

2.5

1

2

630×400

4.5

9

1.5

3

1

2.5

1000×630

6

12

2.5

5

1.5

5